Сапфировая пластина/ сапфировый подложка

Сапфир принадлежит к группе минералов Corundum. Это общий кристалл оксида координации. Он принадлежит к тригональной кристаллической системе. Группа Crystal Space - R3C. Основным химическим составом является AI2O3. Материал имеет твердость режима до 9, уступая только Diamond. Sapphire обладает хорошей химической стабильностью, низкой стоимостью подготовки и зрелой технологией, поэтому он стал основным субстратным материалом оптоэлектронных устройств на основе GAN. Кроме того, он обладает хорошими диэлектрическими и механическими свойствами и широко используется на плоских панельных дисплеях, высокоэффективных твердотельных устройствах, фотоэлектрическом освещении и других полях. Силиконовые субстраты также широко используются в качестве субстратных материалов. Кремниевая поверхность расположена в гексагональной форме, а вертикальный градиент температуры большой, что способствует стабильному росту монокристаллов и широко используется. Тем не менее, самой большой технической трудностью в изготовлении светодиодов на основе GAN на кремниевой субстрате является несоответствие решетки и тепловое несоответствие. Несоответствие решетки между нитридом кремния и нитридом галлия в несколько раз больше, чем у нитрида кремния, что может вызвать проблемы с растрескиванием.

Поле полупроводника обычно использует SIC в качестве тонущего материала. Теплопроводность нитрида кремния выше, чем у сапфира. Это легче рассеять тепло, чем сапфир, и обладает лучшими антистатическими способностями. Тем не менее, стоимость нитрида кремния намного выше, чем у сапфира, и стоимость коммерческого производства высокой. Хотя субстраты нитрида кремния также могут быть индустриализованы, они дороги и не имеют универсального применения. Другие тонущие материалы, такие как Gan, Zno и т. Д., До сих пор находятся на этапе исследований и разработок, и есть еще долгий путь от индустриализации.

При выборе субстрата необходимо рассмотреть сопоставление материала субстрата и эпитаксиальный материал. Плотность дефекта субстрата должна быть низкой, химические свойства стабильны, температура невелика, ее нелегко коррозировать, и она не может химически реагировать с эпитаксиальной пленкой и рассмотреть фактическую ситуацию. Производственные расходы в производстве. Сапфировый субстрат обладает хорошей химической стабильностью, высокой температурной стойкостью, высокой механической прочностью, хорошей диссипацией тепла в условиях небольших тока, отсутствием видимого поглощения света, умеренной цены, зрелой технологии производства и может быть коммерциализирована.

Применение сапфировой подложки в поле SOS